在工业废气处理中，首先要考虑废气的污染因子、浓度和排放量，其次要考虑去除效率。在理解上述两个方面的基础上，应该考虑什么样的过程。但应进一步分析废气的温度、湿度、污染因子（熔点、沸点、易燃易爆性、水溶性、卤素和粘度）特性和非有机污染因子（如颗粒物）。同时，还应考虑处理过程的安全性、经济性和稳定性。
活性炭净化柜和催化燃烧均可单独使用或组合使用。该组合主要利用两者的互补性：活性炭吸附适用于大风量、低浓度废气，催化燃烧适用于小风量、高浓度废气，活性炭吸附的有机物在高温下可以解吸。从另一个角度看，这种组合工艺可以看作是活性炭的现场再生利用工艺，不仅降低了吸附饱和后活性炭的置换成本，同时也避免了因吸附饱和而无法及时更换活性炭而造成的过度排放风险。催化燃烧的目的是利用贵金属催化剂降低废气中有机物的活化能，使有机物在较低温度（一般在250-300℃左右，不同组分有机物的催化燃烧温度不同）下实现无焰燃烧。活性炭净化柜的原理是废气通过催化剂时，先吸附在催化剂表面，然后在一定温度下发生催化燃烧，达到净化的目的。目前，有机废气处理中常用的催化剂有蜂窝状钯金属催化剂和铂金属催化剂。催化燃烧方法包括电加热和燃气加热。燃烧类型包括直接催化燃烧（CO）和再生催化燃烧（RCO）。催化燃烧一般适用于空气量小、浓度高、温度高的气态有机物，废气中不能含有硫、铅、汞、砷、卤素等对催化剂有毒害作用。
